世界能源的1/2-1/3消耗于摩擦，机械零件80％失效原因是磨损；因此磨损是材料研究的重要命题；耐磨、减摩材料开发活跃，成为摩擦学研究的重点。摩擦学包括摩擦、磨损和润滑三部分。自从上世纪70年代DLC薄膜问世以来，经过几十年的发展和探索，逐渐形成了现在的物理沉积和化学气相沉积的DLC(类金刚石涂层）薄膜。早期的涂层以硬度作为主要指标，往往追求高硬度以获得较好的抗磨性能。但是这些镀层的摩擦系数普遍较高，以TiN为例其摩擦系数在干摩擦状态下一般在0.4以上。高硬度的薄膜往往具有较大的脆性，易剥落、开裂。当前涂层面临的挑战不仅应具有长的使用寿命而且有很好的自润滑功能。近年来，在保证镀层具有高硬度的前...