润滑油在真空泵中，真空泵油不只作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。 这是真空泵油的较重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。 真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。 真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵腐蚀的形态可分为完全（均匀）腐蚀和局部腐蚀两大类。EH2600英国爱德华真空泵真空泵卡死是常见故障...